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砷化鎵用高鈍鎵中銅、錳、鎂、釩、鈦等12種雜質(zhì)的等離子體光譜分析法

標(biāo) 準(zhǔn) 號： SJ 20713-1998
替代情況：
發(fā)布單位： 中華人民共和國電子工業(yè)部
起草單位： 電子工業(yè)部第四十六研究所
發(fā)布日期： 1998-03-18
實(shí)施日期： 1998-05-01
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更新日期： 2025年04月29日
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內(nèi)容摘要

本規(guī)范規(guī)定了高純鎵中銅、錳、鎂、釩、鈦等12種雜質(zhì)的等離子體光譜測定方法。本規(guī)范適用于高純鎵中12種雜質(zhì)的同時測定，測定范圍見表1。

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