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本規(guī)范規(guī)定了軍用CMOS電路用抗輻射硅單晶片的要求、質(zhì)量保證規(guī)定和交貨準(zhǔn)備等。本規(guī)范適用于軍用CMOS電路用直徑為50.8mm76.2mm和100mm抗輻射硅單晶片拋光片(以下簡(jiǎn)稱硅片)。