本文件規(guī)定了汽車(chē)MEMS 壓力傳感器灌封工藝的仿真信息，包含了汽車(chē)MEMS 壓力傳感器灌封工藝仿真的基本流程：仿真模型構(gòu)建、仿真運(yùn)行分析、結(jié)果評(píng)價(jià)與工藝優(yōu)化等。
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