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異質(zhì)結(jié)電池用等離子體增強化學(xué)氣相沉積（PECVD）設(shè)備

標(biāo) 準 號： T/CPIA 0065-2024
替代情況：
發(fā)布單位： 中國光伏行業(yè)協(xié)會
起草單位： 中國電子技術(shù)標(biāo)準化研究院、理想萬里暉半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司、隆 基綠能科技股份有限公司
發(fā)布日期： 2024-03-10
實施日期： 2024-03-15
點 擊 數(shù)：
更新日期： 2024年07月19日
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內(nèi)容摘要

本文件規(guī)定了本征薄膜異質(zhì)結(jié)電池用等離子體增強化學(xué)氣相沉積（PECVD）設(shè)備（以下簡稱“PECVD設(shè)備”）的術(shù)語和定義、工作環(huán)境、設(shè)備要求、試驗方法、檢驗規(guī)則以及包裝、標(biāo)志、搬運和運輸、貯存等。


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