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金屬覆蓋層 厚度測量 掃描電鏡法

標 準 號: GB/T 31563-2015
替代情況:
發(fā)布單位: 中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
起草單位: 武漢材料保護研究所、清華大學、株洲鉆石硬質(zhì)合金廠、西安西電高壓開關(guān)有限公司等
發(fā)布日期: 2015-05-15
實施日期: 2016-01-01
點 擊 數(shù):
更新日期: 2017年04月25日
內(nèi)容摘要

本標準規(guī)定了通過掃描電子顯微鏡(SEM)檢測金屬試樣橫截面局部厚度的方式測量金屬涂層厚度的方法。它通常是一種破壞性的檢測方式,不確定度小于10%,或者0.1μm。該測量方法也可以用 來測量幾個毫米厚的涂層,但是對于這類厚涂層建議采用光學顯微鏡法(GB/T6462)進行測量。

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