本標準適用于微系統(tǒng)用生產(chǎn)設(shè)備，規(guī)定了微系統(tǒng)生產(chǎn)設(shè)備中末端執(zhí)行器和操縱系統(tǒng)之間的接口要求，以及手動和自動更換的末端執(zhí)行器的基本偏差、公差和標識。其目的是隨著規(guī)格的增大在三個層面上規(guī)定末端執(zhí)行器接口。
復(fù)?。òǘ喙δ埽┰O(shè)備 術(shù)語特種加工機床 術(shù)語 第1部分：基本術(shù)語無損檢測 超聲檢測試塊 第3部分：曲…時間繼電器校準規(guī)范機動車輪胎花紋深度自動測量儀校準規(guī)范半徑樣板校準規(guī)范冰點恒溫器校準規(guī)范秒表校準規(guī)范
