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砂輪劃片機完好要求和檢查評定方法

標 準 號: SJ/T 31061-1994
替代情況:
發(fā)布單位: 電子工業(yè)部
起草單位: 中國電子技術標準化研究所
發(fā)布日期: 1997-01-01
實施日期: 1997-01-01
點 擊 數:
更新日期: 2021年08月31日
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內容摘要

本標準規(guī)定了切割分離半導體硅片、石英、陶瓷等材料的砂輪劃片機的完好要求和檢評定方法。


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