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真空技術(shù) 復合分子泵

標 準 號： JB/T 10771-2007
替代情況：
發(fā)布單位： 中華人民共和國國家發(fā)展和改革委員會
起草單位： 深圳大學、北京中科科儀技術(shù)發(fā)展有限責任公司、北京北儀創(chuàng)新真空技術(shù)有限責任公司、沈陽真空技術(shù)研究所
發(fā)布日期： 2007-08-28
實施日期： 2008-02-01
點 擊 數(shù)：
更新日期： 2020年10月13日
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內(nèi)容摘要

本標準規(guī)定了復合分子泵的型式與基本參數(shù)、技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則及標志、包裝、運輸和貯存等。本標準適用于具有前級泵、變頻電源的復合分子泵。

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