本標準規(guī)定了離子注入機的術(shù)語、產(chǎn)品分類、技術(shù)要求、試驗、檢驗規(guī)則和標志、包裝、運輸、貯存。
本標準適用于半導(dǎo)體工藝用電能離子注入機。其他離子注入機亦可參照使用。