本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了砷化鎵材料表面鎵砷比的X射線光電子能譜的試驗(yàn)方法。本標(biāo)準(zhǔn)適用于監(jiān)測(cè)砷化鎵器件制造過(guò)程中各種表面處理對(duì)砷化鎵晶片表面鎵砷比的影響，也適用于晶片加工中的各種表面處理。