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Ⅲ族氮化物外延片結(jié)晶質(zhì)量測試方法

標(biāo) 準(zhǔn) 號: GB/T 30653-2014
替代情況:
發(fā)布單位: 中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局 中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會
起草單位: 中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所
發(fā)布日期: 2014-12-31
實施日期: 2015-09-01
點 擊 數(shù):
更新日期: 2025年02月12日
內(nèi)容摘要

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了利用高分辨X射線衍射儀測試Ⅲ族氮化物外延片結(jié)晶質(zhì)量的方法原理、儀器、測試環(huán)境、樣品、測試、測試結(jié)果的分析、精密度以及測試報告。 ?
本標(biāo)準(zhǔn)適用于在氧化物襯底(Al2O3、ZnO等)或半導(dǎo)體襯底(GaN、Si、GaAs、SiC等)上外延生長的氮化物(Ga、In、Al)N單層或多層異質(zhì)外延片結(jié)晶質(zhì)量的測試。其他異質(zhì)外延片結(jié)晶質(zhì)量的測試也可參考本標(biāo)準(zhǔn)。

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