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掩模對準曝光機通用技術(shù)條件
標 準 號：
SJ/T 11079-1996
替代情況：
替代 GB 11481-89
發(fā)布單位：
電子工業(yè)部
起草單位：
電子工業(yè)部標準化研究所 等
發(fā)布日期：
1996-11-20
實施日期：
點 擊 數(shù)：
更新日期：
2024年08月18日
下載地址：
點擊這里
572.35KB
下載點數(shù)：
30點（VIP會員免費）
內(nèi)容摘要
本標準規(guī)定了掩模對準曝光機的術(shù)語、技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則等，還對供貨作了規(guī)定。
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Tag:
安全標準
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