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MEMS 慣性器件芯片在片測(cè)試技術(shù)要求

標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào): SJ 21262-2018
替代情況:
發(fā)布單位: 國(guó)家國(guó)防科技工業(yè)局
起草單位: 中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第十三研究所
發(fā)布日期: 2018-01-18
實(shí)施日期: 2018-05-01
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更新日期: 2022年09月17日
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內(nèi)容摘要

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了MEMS慣性器件敏感芯片電參數(shù)在片測(cè)試的人員、環(huán)境、安全、設(shè)備和儀器的一般要求,以及測(cè)試流程、測(cè)試準(zhǔn)備、測(cè)試系統(tǒng)連接、參數(shù)測(cè)試等詳細(xì)要求。


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