本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了MEMS慣性器件敏感芯片電參數(shù)在片測(cè)試的人員、環(huán)境、安全、設(shè)備和儀器的一般要求，以及測(cè)試流程、測(cè)試準(zhǔn)備、測(cè)試系統(tǒng)連接、參數(shù)測(cè)試等詳細(xì)要求。
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