本標(biāo)準(zhǔn)只涉及集成電路生產(chǎn)中所用的光刻技術(shù)及其關(guān)系密切的技術(shù)的聚集與焦深測(cè)量問(wèn)題。由于設(shè)備技術(shù)多種多樣，因而不可能提出這些參數(shù)的明確測(cè)量方法。本標(biāo)準(zhǔn)只提供基本準(zhǔn)則。
電業(yè)安全工作規(guī)程（發(fā)電廠和變電所電…電力生產(chǎn)企業(yè)安全設(shè)施規(guī)范手冊(cè)電力建設(shè)安全工作規(guī)程第1部分：火力…電業(yè)安全工作規(guī)程（電力線路部分）火力發(fā)電廠設(shè)計(jì)技術(shù)規(guī)程工業(yè)企業(yè)照明設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)【作廢】《建筑照明設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)》條文說(shuō)明農(nóng)村安全用電規(guī)程【作廢】
