本文件描述了用于測量掃描電容顯微鏡（scanning capacitance microscope，SCM）或掃描擴展電阻顯微鏡（scanning spreading resistance microscope，SSRM）空間（橫向）分辨的方法，該方法涉及使用銳邊的器件。這2種顯微鏡廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體器件的載流子分布成像和其他電學(xué)特性的測量。