本部分規(guī)定了納米科技在納米制造過程中的相關術語和定義，是 覆蓋納米科技不同方面的術語和定 義中的一部分。 本部分的術語均與納米制造相關，有些過程可能并不局限于納米尺度，根據(jù)可控條件,這些過程會 導致材料的特性在納米尺度甚至更大尺度。本部分不包括其他術語如工具、組件、材料，以及與納米制 造相關的系統(tǒng)控制方法或計量方法