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納米技術(shù) 原子力顯微術(shù)測定納米薄膜厚度的方法

標 準 號: GB/T 36969-2018
替代情況:
發(fā)布單位: 國家市場監(jiān)督管理總局 國家標準化管理委員會
起草單位: 上海交通大學、納米技術(shù)及應(yīng)用國家工程研究中心
發(fā)布日期: 2018-12-28
實施日期: 2018-12-28
點 擊 數(shù):
更新日期: 2019年05月06日
內(nèi)容摘要

本標準規(guī)定了使用原子力顯微術(shù)(AFM)測量納米薄膜厚度的原理、測試條件、設(shè)備、樣品、測試步驟和數(shù)據(jù)處理。本標準適用于表面均勻、平整的納米范圍厚度的無機材料薄膜。較厚的和一些有機薄膜的膜厚測定也可參照執(zhí)行。

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