本標準規(guī)定了使用原子力顯微術(shù)（AFM)測量納米薄膜厚度的原理、測試條件、設(shè)備、樣品、測試步驟和數(shù)據(jù)處理。本標準適用于表面均勻、平整的納米范圍厚度的無機材料薄膜。較厚的和一些有機薄膜的膜厚測定也可參照執(zhí)行。