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半導(dǎo)體制造用氣體處理指南

標(biāo) 準(zhǔn) 號： GB/T 34971-2017
替代情況：
發(fā)布單位： 中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局 中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會
起草單位： 廣東華特氣體股份有限公司等
發(fā)布日期： 2017-11-01
實施日期： 2018-05-01
點 擊 數(shù)：
更新日期： 2018年02月05日
內(nèi)容摘要

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了半導(dǎo)體制造用氣體排放系統(tǒng)的原理及技術(shù)。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體制造用氣體的處理。
　　

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