本標準規(guī)定了砷化氫的技術(shù)要求，試驗方法以及包裝、標志、貯運及安全。 
      本標準適用于砷化合物與酸反應(yīng)獲得的砷化氫。在半導(dǎo)體器件制備過程中，砷化氫用于摻雜以及化合物半導(dǎo)體外延。