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電子工業(yè)用氣體 砷化氫

標 準 號: GB/T 26250-2010
替代情況:
發(fā)布單位: 中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局、中國國家標準化管理委員會
起草單位: 西南化工研究設(shè)計院、上海華愛色譜分析技術(shù)有限公司、光明化工研究設(shè)計院
發(fā)布日期: 2011-01-14
實施日期: 2011-05-01
點 擊 數(shù):
更新日期: 2012年07月05日
內(nèi)容摘要

      本標準規(guī)定了砷化氫的技術(shù)要求,試驗方法以及包裝、標志、貯運及安全。 
      本標準適用于砷化合物與酸反應(yīng)獲得的砷化氫。在半導(dǎo)體器件制備過程中,砷化氫用于摻雜以及化合物半導(dǎo)體外延。

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