本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了透射電鏡（TEM）在很大放大倍率范圍內(nèi)所記錄的圖像的校準(zhǔn)方法。用于校準(zhǔn)的標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)具有周期性結(jié)構(gòu)，例如衍射光柵復(fù)型、半導(dǎo)體的超點(diǎn)陣結(jié)構(gòu)或X射線分析的分光晶體以及碳、金或硅的晶體晶格像。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于記錄在照相膠片上或成像板上或數(shù)字相機(jī)內(nèi)置傳感器采集的 TEM圖像的放大倍率。本標(biāo)準(zhǔn)也可用于校準(zhǔn)標(biāo)尺，但不適用于專用的臨界尺寸測(cè)長(zhǎng)透射電鏡（CD-TEM）和掃描透射電鏡（STEM）。