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電子級多晶硅中基體金屬雜質含量的測定 電感耦合等離子體質譜法

標 準 號： GB/T 37049-2018
替代情況：
發(fā)布單位： 國家市場監(jiān)督管理總局、中國國家標準化管理委員會
起草單位： 江蘇中能硅業(yè)科技發(fā)展有限公司、青海黃河上游水電開發(fā)有限責任公司新能源分公司
發(fā)布日期： 2018-12-28
實施日期： 2019-04-01
點 擊 數(shù)：
更新日期： 2019年04月08日
內容摘要

本標準規(guī)定了電感耦合等離子體質譜儀（ICP-MS)測定電子級多晶硅中痕量基體金屬雜質含量的方法。
本標準適用于GB/T 12963中在基體金屬雜質小于5 ng/g范圍內鐵、鉻、鎳、銅、鋅、鈉含量的測定。

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