文檔作者：
楊敏杰
文檔來源：
深圳方正微電子有限公司 |
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更新時間： 2015年04月27日 |
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論述了特氣的性質及分類，對特氣輸送系統(tǒng)的主要構成單元：尾氣處理器、特氣氣柜／氣架、特氣分配箱／分配盤、輸送管線和特氣監(jiān)控／偵測系統(tǒng)的功能和用途進行了介紹，為避免特氣輸送系統(tǒng)出現(xiàn)泄漏，對特氣系統(tǒng)日常安全運行管理和特氣泄漏應急處理提出了建議。   |
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